在半导体生产中,光刻机是核心设备,不仅决定了芯片制造的工艺水平,也是耗时最多、成本最高的一步,目前先进的
7nm
、5nm
及接下来的3nm
都需要EUV
光刻机,一台售价将近10
亿人民币,目前还是供不应求。EUV
光刻机目前只有荷兰ASML
公司可以生产,他们的产能将决定全球先进工艺扩张的速度,日前ASML
公司高级副总裁Christophe Fouquet
在高盛会议上确认,将增加EUV
光刻机的产能。他们原本预计在
2025
年的时候EUV
年产能是70
台,现在决定提升到每年90
台,有助于缓解产能不足的问题。今年
Q2
季度还没结束,ASML
公司就收到了超过100
台EUV
光刻机的订单,这已经大大超过了他们的产能,今年该公司计划出货EUV
光刻机不过55
台,只能满足一半的订单量,客户都要排队等待。